기초과학융합연구소

기초과학융합연구소 마스크얼라이너 (MDA-400LJ) 기기사용 안내

1. 기기이름 마스크얼라이너 (MDA-400LJ)

2. 설치장소 기초과학융합연구소 포토공정실 (329-2호)

3. 용도 소자 미세패터닝을 위한 포토리소그래피 공정 수행을 위해

4. 관리담당자 기초과학융합연구소 (iibs_equipment@ssu.ac.kr)

5. 사용방법

1) 사용 교육을 이수한 연구소 소속 인원이 사전예약 신청

2) 담당자 승인 이후 사용

6. 사용 교육

1) 연구실 별 최대 2인

2) 학기당 1회 실시 (신청 일정 추후 공지)

7. 사용

1) 사용시간: 평일 오전 11시 – 오후 6시

2) 사용신청페이지를 작성 후 ‘제출’ 클릭

(신청 페이지: https://forms.gle/u5dCpayhT6qYfuQi9)

3) 담당자 확인 후 일정조율 후 통보

4) 유저당 주당 4시간으로 사용 제한

8. 사용 스케쥴 링크

https://calendar.google.com/calendar/embed?src=u7nlhrrlit4hl1raco9vl8a6ak%40group.calendar.google.com&ctz=Asia%2FSeoul

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